二手 APSYSTEM Korona 1200+ #9270686 待售

APSYSTEM Korona 1200+是一種快速熱處理器（RTP）,旨在使許多薄膜應用中的吞吐量最大化。該設備采用了先進的過程控制技術，使其能夠針對可重復性和效率進行優化。RTP利用最新的石英敏感器技術,能夠處理高達1100 °C的溫度。Korona 1200+最適合處理小批量、可變基板和困難材料，同時保持卓越的吞吐量和可重復性。RTP利用基於CMOS的控制器和純硬化軟件算法,允許在設定點的+/-2°C範圍內進行嚴格的溫度控制。控制器中先進的PID算法使過程得以穩定和調諧以獲得最佳效率，進一步提高了系統的吞吐量。控制器還提供了實時監控過程以及跟蹤歷史趨勢以進行分析和調試的方便功能。該裝置的設計具有緊湊的占地面積和堅固的結構，可方便地融入現有的半導體裝置以及空間受限的實驗室設置。閉環冷卻循環有助於更有效地散熱，同時仍然保持RTP操作所必需的精確溫度控制。一般APSYSTEM Korona 1200+在晶圓級處理和複雜的薄膜製程步驟方面表現出色。它在溫度範圍上的靈活性、快速的周轉時間以及VOC的合規性，使其成為多種多樣研發和生產環境中的熱門選擇。該機還提供多種工藝選擇，包括快速熱編程退火、氧化、氮化、雜質退火和金屬化/沈積。總之,Korona 1200+是一款功能強大的快速熱處理器,可為眾多薄膜應用程序提供高效且可重復的處理。其強大的功能集，加上先進的軟件算法，使得解決方案能夠可靠地處理具有卓越吞吐量的熱敏基板。