二手 APSYSTEM Korona 1200+ #9270851 待售

APSYSTEM Korona 1200+是一種快速熱處理器,專為晶圓和基板在各種應用中的熱處理而設計。這種功能強大的設備提供卓越的過程控制、快速的循環時間、高溫度精度、低熱循環和極低的熱超調,從而產生高度可重復的結果。該系統由強大的快速熱處理器室、快速熱控制單元和多種控制/傳感系統組成。快速熱處理器室在高真空條件下運行，提供清潔、高可重復的熱環境。該腔室由八個熱區段加熱，使用氮氣或氙氣快速加熱和冷卻底物，燃料效率高。精密溫度控制單元結合了先進的控制算法和晶圓周圍的溫度傳感器，以保持晶圓上的均勻溫度。車載控制/傳感系統提供了一個操作員接口，用於編程和監測溫度曲線。使用Korona 1200+的圖形用戶界面，操作員可以實時監控溫度信息，並可以從存儲的配方中訪問測量和存儲的熱數據。實時溫度數據可用於檢查熱循環的準確性或揭示非操作條件。APSYSTEM Korona 1200+結構精密，配有電隔離加熱元件和集成微電子控制機器，以便在各種基板尺寸和厚度範圍內提供高度精確的熱循環。精確的溫度控制保證了熱處理過程中所需的效果。Korona 1200+旨在為各種生產需求提供快速的熱處理能力。其先進的控制和監控系統、卓越的過程控制、精確的溫度控制以及快速的循環時間，使其成為需要一致、可重復結果的操作的熱門選擇。