二手 APSYSTEM KORONA-1200P #293610309 待售
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APSYSTEM KORONA-1200P是一種最先進的快速熱處理器(RTP),設計用於在工業環境中處理半導體晶片。KORONA-1200P采用精密陶瓷加熱元件,溫度可達1200 °C,提供最佳性能和熱精度。APSYSTEM KORONA-1200P配備了先進的安全功能和數字過程控制,用戶可以在每個熱循環期間精確監控和調整溫度曲線。KORONA-1200P有一個由高級鋼和鋁合金制成的雙層隔熱室。該腔室設計為在內部提供均勻的溫度和壓力均衡,使其能夠以最小的溫度梯度實現高溫過程。該室還采用強制空氣冷卻設備,以確保循環之間快速恢復溫度並最大限度地提高吞吐量。APSYSTEM KORONA-1200P還包括一個緊湊的過程氣體輸送系統,以最佳的氣體註入反應室。該裝置包括一個可手動調節的工藝氣體流速、一個內置質量流量計和一個防止顆粒物汙染的過濾系統。機器提供了準確和可重復的過程條件,使用戶能夠精確控制室內發生的化學反應。KORONA-1200P的用戶界面旨在提供直觀的操作和參數調整。用戶對腔室溫度和壓力、過程氣體流量和過程定時有完全的控制。用戶還可以使用腔室配置軟件來調整每個過程的溫度輪廓,讓用戶最大限度地提高可重復性和屈服度。綜上所述,APSYSTEM KORONA-1200P是一種工業級RTP,旨在提供無與倫比的性能和全過程控制。其腔室配置軟件、精密工程陶瓷加熱元件以及數控工藝參數,使用戶能夠以一致、可重復的高性能結果處理晶片。
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