二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9270852 待售

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9270852
Rapid Thermal Processing (RTP) systems.
APSYSTEM KORONA-1200P是一種快速熱處理器,旨在為各種不同的材料和基板提供高度精確的熱處理。KORONA-1200P主要用於半導體工業,是一種經濟高效的解決方案,用於處理許多小基板。APSYSTEM KORONA-1200P能夠在整個基板上產生優越的表面均勻性,在典型加工過程中熱點偏差小於2%。它使用氣體催化的積液源快速加熱高達1200攝氏度的底物,並在幾秒鐘內將它們冷卻下來。由於使用了專利的熱控系統,它被設計成能夠以高精度的快速加熱溫度剖面運行。KORONA-1200P具有多種靈活、精確的控制功能。它具有可變功率輸入來調節熱速率,以及可編程的氣流以將精確數量的材料輸送到基板上以實現精確的均勻性。這樣可以在廣泛的溫度範圍內實現過程的一致性。此外,處理器還配備了絕對壓力和溫度監控功能,以確保每個過程的結果都相同。APSYSTEM KORONA-1200P還配備了保護用戶和設備的安全功能。它具有一個熱限制系統,可防止過熱,並且在檢測到危險溫度時自動關閉處理器。處理器還具有光學互鎖,需要在操作過程中佩戴安全眼鏡。KORONA-1200P為快速熱處理提供了可靠的解決方案,非常適合各種應用。它能夠產生高度均勻的表面,具有極好的可重復性,同時還具有針對不同基板和工藝進行調整的靈活性。這使得它成為半導體加工的理想解決方案。
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