二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9311066 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一種最先進的快速熱處理器,是用於對半導體器件和材料進行可靠熱處理的高生產率制造工具。該處理器為快速退火、擴散和氧化過程提供了卓越的性能。KORONA-1200P提供了良好的溫度均勻性和控制整個腔室改進的過程結果。它利用紅外燈和熱電冷卻器的快速加熱/冷卻設備，導致溫度斜坡速率高達60°C/秒，溫度調節± 2oC。堅固的等離子體碳氫化合物沈積離子源提供快速退火/擴散/氧化和其他過程控制，穩定的高性能結果。該系統提供一個自動氣體輸送裝置，用於精確輸送加工氣體，以及一個用於幹火的綜合爐。集成CVD機包括氮氧（N2O2）和標準廢氣水洗滌器，為清潔安全運行。此外，它還包括一個集成直流電源、真空紫外線光電探測器（VUV）和石英晶體微平衡（QCM），用於精確的過程控制。APSYSTEM KORONA-1200P有一個可編程控制器，帶有菜單操作的輸入，允許操作員獨立設置過程參數和啟動。它提供模塊化設計,包括用戶可調節的組件和靈活的自動化選項,包括機器人技術和過程監控。處理器為實驗室和研發應用程序提供了理想的學習解決方案。它的高級軟件解決方案和遠程控制功能使用戶能夠從遠程位置運行、監視和管理其流程參數。KORONA-1200P是一種強大、先進和可靠的快速熱處理工具。它是快速、經濟高效地生產高質量、可靠的微電子產品的最佳解決方案。