二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9314987 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一種創新的快速熱處理器（RTP），最高處理溫度為1200 °C。這種高科技設備設計用於生產晶片、光刻膠和電介質的高效、均勻加熱。具有± 2°C的卓越溫度均勻性,KORONA-1200P確保對時間和溫度的精確控制。APSYSTEM KORONA-1200P的標準腔室尺寸為150 x 150 mm,可選的大腔室尺寸為200 x 200 mm,能夠容納各種基板。它與多種氟碳氣體化學物質兼容，可以編程為自動操作。其寬敞的工作室和高效的對流冷卻系統，使其成為加工直徑達5英寸的晶片的理想之選。此外，KORONA-1200P還設有一個令人印象深刻的4個坡道，最多可調節8段溫度。它能夠快速加熱/冷卻時間,確保快速、一致的完美結果。它具有多種有用設置的直觀用戶界面,使用戶能夠輕松調整熱配置文件以優化流程。APSYSTEM KORONA-1200P還具有先進的安全功能以防止汙染。一個集成的低泄漏金屬密封單元將腔室與環境隔離開來，將環境汙染物拒之門外。本機核心采用石英和傳熱板的組合設計，提供卓越的溫度均勻性和工藝均勻性。總體而言,KORONA-1200P是一種可靠的快速熱處理器,旨在為晶圓處理提供出色的溫度均勻性和精確控制。快速加熱/冷卻時間、高溫能力和直觀的用戶界面相結合，使其成為研究半導體晶片的研究人員的理想選擇。