二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9315110 待售

APSYSTEM KORONA-1200P快速熱處理器（RTP）是一種先進的低成本熱效率設備,專為可重復的高溫過程和退火而設計。KORONA-1200P獨特的專利化光束成形方式使系統的熱均勻性達到傳統管式系統的兩倍以上。采用APSYSTEM KORONA-1200P獨有的三級主動冷卻方法，從室溫到1200 °C可以實現各種溫度剖面。它還能夠在廣泛的溫度和時間尺度上快速提供受控熱能。通過選擇手動電梯或可選的機器人轉運單元，可以方便地裝卸腔室。KORONA機器設計用於可重復的生產運行，可與大多數類型的熱處理工具軟件和硬件一起使用。為生產運行或單件操作提供了標準的顆粒進料箱和高強度的Crucibles。KORONA-1200P還具有可靠的診斷和安全功能,例如可編程安全聯鎖、過流保護、驅動器保護和低氣壓安全關閉,這有助於確保可重復和可靠的操作。此外,其創新的主動冷卻功能提高了熱均勻度,最大限度地提高了產量並減少了TC/TW不匹配。APSYSTEM KORONA-1200P的閉環過程控制允許精確控制負載溫度並導致過程可重復性在0.1°C以內,過程可重復性在10%以內。此外，該工具的「點到點」粗溫度控制提高工藝速度和氣體效率。KORONA-1200P是尋求可重復、準確、快速和可靠熱處理的人的完美解決方案。其緊湊的設計、高效的熱性能和快速的冷卻技術提供了亞微米的熱均勻性，確保了最高的產量和最低的循環時間。