二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9315112 待售

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9315112
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Metal RTN system, 12" 2010 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P是一種快速熱處理器,旨在精確快速地加熱和冷卻各種基板。憑借其快速加熱和冷卻能力,KORONA-1200P可用於退火薄膜晶體管以及其他結構,以利於先進的集成電路制造。APSYSTEM KORONA-1200P是一種分體式脈沖快速熱處理器,意味著它由兩個獨立的腔室組成:工藝腔室和預熱腔室。兩個室都是獨立控制的,允許同時處理兩個樣品。工藝室結合了雙區加熱,意味著腔內的不同位置可以在溫度上獨立控制。這允許樣品內不同區域的加熱和冷卻,導致均勻的溫度分布。預熱室采用對流加熱,采用雙區透射紅外燈系數,以實現快速、均勻的加熱。通過對流加熱和紅外加熱系統的結合,KORONA-1200P能夠快速、均勻地處理樣品。APSYSTEM KORONA-1200P加熱範圍為100至1100 °C,冷卻速率高達250°C/s,可用於快速加熱和冷卻樣品。此外,處理器能夠快速處理樣品,而無需頻繁重新校準,從而降低了樣品降解的風險。KORONA-1200P是一個多功能的快速熱處理器,旨在促進先進的集成電路制造。憑借雙區加熱和對流加熱能力,處理器能夠精確快速地退火薄膜晶體管等結構。處理器還提供快速加熱和冷卻功能,以及高達1000 °C的加熱範圍。此外,處理器能夠以最小的校準要求處理樣品,從而能夠用於高通量應用程序。APSYSTEM KORONA-1200P具有多功能性和準確性,是任何集成電路制造的理想選擇。
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