二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9351328 待售

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9351328
優質的: 2011
Rapid Thermal Processing (RTP) systems Process: IMP 2011 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P是一種快速熱處理器,用於快速加熱和冷卻基板,精度很高。處理器具有獨特的技術設計,使其能夠保持恒定和可控的熱量環境,而無需外部控制系統。這使得它非常適合需要快速熱處理的應用,如蝕刻、摻雜、金屬沈積和薄膜沈積。處理器由強大可靠的大功率加熱器提供動力,只需1秒即可達到1200oC。此功能允許用戶在沒有任何外部設置或控制系統的情況下精確、精確地控制溫度。整個加工室的熱環境也盡可能保持均勻,確保最佳效果。此外,處理器還配備了高效的冷卻設備,旨在快速有效地冷卻工藝室中的組件。冷卻系統旨在最大程度地減少熱沖擊問題,並可在10秒內將加工室冷卻至低於-100oC的溫度。處理器還具有多個監控系統,以確保安全運行和性能。這包括一個一氧化氧探測器,用於監測工藝室內的危險氣體水平,一個壓力傳感器用於監測壓力水平,以及一個溫度傳感器用於監測工藝室內的溫度。處理器還能夠利用其批處理功能同時控制多個進程。這允許用戶創建具有多個步驟和參數的批處理程序,這些程序可以按順序或同時執行。這使得它非常適合需要多個進程的復雜處理應用程序。總體而言,KORONA-1200P是需要快速熱處理的應用程序的絕佳選擇。其先進技術提供了精確可控的供暖制冷單元、高效的制冷機、安全性能監控系統以及同時控制多個過程的能力。這使得該處理器極其可靠,非常適合任何需要快速熱處理的應用。
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