二手 APSYSTEM KORONA-12SP #293610720 待售

APSYSTEM KORONA-12SP是一種快速熱處理器（RTP），專為半導體晶片的工藝改進而設計，確保實現半導體器件生產的最高質量。KORONA-12SP有兩個獨立控制的腔室，每個腔室都具有精確的溫度、壓力和通過接觸晶片傳遞熱量的均勻性。位於APSYSTEM KORONA-12SP中心的專門加熱系統旨在通過處理所有主要的熱參數，包括每個腔室的熱功率以及溫度和能量凈空，提供精確的熱平衡。這種精確的熱平衡保證了過程的穩定性，它具有較高的芯片產量和改進的設備性能，更一致，高質量的設備。這種穩定的溫度測量還可以確保隨著時間的推移獲得精確、可重復的結果。精確的過程控制通過使用固態傳感器進行管理，固態傳感器可以測量和監控一系列參數。這包括監視每個腔室內和晶圓本身的溫度的能力。這些數據是實時收集的，可用於快速調整熱參數，確保可重復和可重復的過程結果。此外,還可以將KORONA-12SP配置為可容納25毫米至200毫米大小的晶圓。這與系統堅固的傳熱能力相結合,可確保在一系列晶圓尺寸上達到最佳的熱均勻性。APSYSTEM KORONA-12SP還具有處理包括矽、有機材料和其他基板在內的一系列材料的能力。KORONA-12SP是一種先進的RTP解決方案，它為提高半導體晶圓工藝性能提供了精確的熱環境。其精確的熱均勻性，加上其車載監控系統提供的詳細工藝控制，有助於確保高質量的設備生產，並具有一致的、可重復的結果。