二手 APSYSTEM KORONA-12SP #293666860 待售

APSYSTEM KORONA-12SP是一種用於快速熱處理各種半導體晶片的快速熱處理器（RTP）。它使用先進的直接加熱技術，利用快速加速度在毫秒內達到樣品的峰值溫度。處理器具有內置化學氣相沈積（CVD）管和直接加熱陰極，允許用戶統一加熱整個晶片表面。KORONA-12SP本身是風冷的，這意味著不能使用液體來冷卻晶圓。機器配備了多噴射工藝模塊，使處理器能夠快速、精確地改變晶圓的環境。通過改變模塊內的壓力、氣流和溫度，用戶能夠控制樣品上的擴散或沈積速率。APSYSTEM KORONA-12SP還配備了先進的微波加熱門鎖。該鎖存器用於在處理過程中牢固地固定晶片,防止晶片在旋轉過程中滑動。鎖存器還包含一個內置的加熱元件，在處理過程中不需要單獨的熱源。為確保精確的溫度控制，KORONA-12SP配備了先進的紅外溫度感應設備。該系統監控晶片的溫度，根據需要調整熱量輸出。APSYSTEM KORONA-12SP還配備了高質量的安全單元。處理器裝有警告警報,當溫度接近設定閾值時,警告用戶。此外,還有各種鎖和捕獲物,以確保樣品在操作過程中安全。總體而言，KORONA-12SP是一種可靠、高效的處理器，旨在快速處理各種半導體晶片。其內置的化學氣相沈積管、直接加熱陰極、多噴射工藝模塊、微波加熱鎖存器、紅外溫度傳感機，可實現精確準確的熱處理，確保了最佳效果。此外,其安全機制可確保處理器始終安全運行。