二手AXCELIS / FUSION(快速升溫製程處理)待售

Axcelis是半導體行業的著名制造商，專門生產快速熱處理器（RTP）。它們的聚變系列RTP系統提供了先進的溫度控制和過程均勻性，確保了各種半導體制造過程的精確加熱和冷卻周期。Axcelis的RTP比傳統的處理方法有幾個優點。首先，它們提供快速的熱退火，提供比傳統爐更快、更準確的高溫。此功能大大縮短了周期時間,並提高了總體工作效率。此外,Axcelis的Fusion RTP具有卓越的工藝靈活性,非常適合廣泛的應用,包括摻雜劑活化、矽化物形成和氧化物生長。Axcelis的Fusion RTP系統的一些顯著例子包括Integra RS、800S和Summit 200。Integra RS是一個多功能系統,提供正面和背面加熱功能,確保最佳均勻性。該800S是一款以出色的溫度控制和低能耗而聞名的高性能RTP。最後，Summit 200專為超淺結形成而設計，提供卓越的工藝重復性。總體而言,Axcelis的Fusion RTP為半導體制造商提供了精確高效的熱處理解決方案,從而提高了設備性能和產量。