二手 AXCELIS Summit 300XT #9359564 待售
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AXCELIS Summit 300XT是一種快速熱處理器,旨在為各種應用程序提供高效、精確的熱處理。該設備采用幹空間退火和高溫共燃的優化工藝。它采用帶狀輻射燈和循環氣流的雙區熱板,以減少熱預算和提高溫度均勻性。一系列可選的遠程溫度傳感器允許用戶監視溫度以準確控制處理條件。處理器具有增強的安全功能,包括互鎖系統和溫度傳感器,可保護人員免受熱室的傷害。獨特的循環氣流裝置有助於保持腔室內的均勻溫度,使熱預算減少50%。這有助於減少加工產品所需的時間。該處理器專為半導體退火、摻雜劑擴散和氧化物熱氧化等應用而設計。也適用於非常小面積樣品的鈍化、合金化和重結晶。該機結合了動態氣體控制工具,使用戶能夠精確調整爐膛氣氛以滿足工藝要求。活躍的固定氣體資產保證了氣流的均勻分布。Summit 300XT旨在提供卓越的吞吐量和可靠性。該模型獨特的小占地面積使其非常適合支持研發和生產設施中的多過程功能。該設備具有創新的集成控制器,包括一系列傳感器和安全選項,有助於最大限度地提高效率和最大限度地提高工藝可靠性。AXCELIS Summit 300XT是一個理想的解決方案,適用於一系列需要高溫和狹小空間的應用。它為熱處理需求提供了更高的安全性、更高的效率、更高的吞吐量和精度。
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