二手 AXCELIS Summit 300XT #9362104 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9362104
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: Oxide, Anneal
CIM: SECS GEM
(2) Transfer loadlocks / Cooling stations
Mini environment
(2) Furnace process modules
Transfer chamber
(2) GENMARK Wafer handlers
Factory interface: (3) FOUPs
Load port non-functional
2001 vintage.
AXCELIS Summit 300XT是為生產基於晶圓的集成電路而設計的高性能快速熱處理器。峰會300XT旨在改進集成電路晶片的制造工藝,同時大幅降低成本。AXCELIS Summit 300XT為高效、準確的熱處理提供了多種功能。該加工室采用了最新的熱效率絕緣材料,可以更快、更均勻地加熱和冷卻晶片。此外,腔室設計不需要額外的晶圓傳輸設備,使設備比傳統生產系統更快、更可靠。快速熱處理器還結合了多級加熱和冷卻系統,用於精確、均勻、可重復的熱處理。Summit 300XT還具有精確的溫度和氣流控制功能,非常適合各種制造工藝。它可以很容易地集成到現有的生產系統中,從而可以立即提高生產率。為方便起見,該設備具有遠程訪問功能,允許操作員從遠程位置監視和調整操作。AXCELIS Summit 300XT還擁有先進的安全功能,以確保安全可靠的操作。該機器包括緊急關閉裝置,以防止溫度過高或氣壓過大,以及先進的監控和診斷系統,使操作員能夠快速準確地排除任何問題。最後,Summit 300XT是一款前沿的快速散熱處理器,旨在改善集成電路的生產過程,同時降低總體成本。該工具具有高級功能,如均勻且可重復的熱處理、精確的溫度和氣流控制以及緊急關閉。此外,該資產可以輕松集成到現有的生產系統中,並具有遠程訪問功能,以增加便利性。
還沒有評論