二手 AXCELIS Summit #9298675 待售

AXCELIS Summit
ID: 9298675
晶圓大小: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12".
AXCELIS Summit是一種快速熱處理設備,旨在使工程師和科學家能夠在各種過程中有效和準確地控制溫度和時間。該系統配備了LED觸摸屏、主動PID(Proportional-Integral-Derivative)控制、最新一代AST(Advanced Sensing Technologies)熱技術等先進功能。該技術提供了一個無與倫比的過程控制單元,能夠在各種過程中快速、準確地自動檢測和控制熱層參數。Summit的LED觸摸屏允許各種處理功能的快速輕松編程,用戶友好的界面允許用戶快速輸入命令和查看結果。Active PID control machine允許用戶在過程中精確調整基板溫度。該工具最大限度地提高了在溫度是關鍵因素的基板上發生的各種過程的效率,包括制造沈積的快速傾斜、快速熱退火、雜質引入、薄膜形成和致密化。AXCELIS Summit的先進傳感技術還設計用於同時探測和控制多層材料中的熱層。這消除了猜測,使過程參數的監測和控制比以往任何時候都更加容易和精確。Summit中的高級傳感器還提供了工藝參數的完整實時反饋,讓用戶對工藝前後的基板條件有了更多的了解。此外,AXCELIS Summit還設計了多種高級控件,允許用戶在給定過程中動態控制各種參數。用戶還可以根據給定流程的需要自定義流程變量,從而可以微調流程參數。這些控件還允許用戶根據需要快速修改流程參數,以確保實現所需的結果。Summit是一種先進的快速熱處理資產,非常適合控制過程的溫度和時序。AXCELIS Summit直觀的用戶界面和先進的控制功能使其成為需要精確控制溫度和時序的用戶的完美工具。靈活的控制功能還允許用戶輕松定制流程參數,確保實現最佳流程結果。
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