二手 AXCELIS Summit #9359567 待售

AXCELIS Summit是快速熱處理器（RTP）。它是半導體工業中為電子器件加工設計的高通量熱工具。Summit是目前最可靠、最有效的快速熱處理器。AXCELIS Summit提供了卓越的散熱性能、均勻性和準確性的組合,這對於具有最高控制級別的設備制造至關重要。Summit具有兩個獨立的雙區室，每個室提供獨立的加熱和控制功能，以實現最佳的溫度均勻性和處理精度。AXCELIS Summit的工藝室具有創新的間接加熱元件系統，在其整個區域內均勻分配能量，確保對晶圓加熱輪廓的精確控制。先進的溫度傳感和控制技術提供了卓越的輪廓精度和較高的腔室溫度為優越的設備性能。薩米特的雙區供熱系統利用獨特的直接/間接供熱技術，提供卓越的溫度均勻性和穩定、可預測的溫度分布。單區RTP提供一組由獨立、獨立、可編程控制器控制的輻射加熱元件。這種雙區RTP提供兩個輻射加熱元件，每個元件都有自己的專用控制器，因此各區的溫度輪廓和均勻性可以獨立調整。AXCELIS Summit是高度可定制和可配置的,以滿足幾乎所有晶圓處理應用程序的需求。它支持許多不同的過程，包括標準和高級高溫配方。溫度控制具有多功能性和靈活性,僅受應用程序限制。Summit的眾多選項包括遠程配方選擇、高級控制算法、自動配方感應硬件驗證、旋轉能力、背面加熱、多個晶片卡帶配置以及每個加熱器區域的獨立閉環溫度控制。AXCELIS Summit的用戶友好界面允許高度精確的溫度控制，並且不需要復雜的計算來修改配方。其直觀的圖形用戶界面（GUI）允許用戶以最小的調整輕松高效地控制RTP。Summit是單晶圓處理的可靠、高性能、經濟高效的解決方案。它提供卓越的熱性能和均勻性，以確保最高級別的設備產量和性能。對於那些需要高效、可靠和準確的單晶圓處理解決方案的人來說,這是一個理想的選擇。