二手 BOC EDWARDS Helios 1 #9203075 待售

BOC EDWARDS Helios 1 Rapid Thermal Processor是為現代半導體器件的高精度處理而設計的通用、可靠和高效的熱系統。它能夠快速熱處理高達1,200 °C，最大斜坡速率高達300 °C/秒。通過利用其高速坡道,系統能夠顯著減少熱循環時間,從而加快過程步驟之間的周轉時間。Helios 1配備了超快拍打的石英敏感器，尺寸從500毫米到150毫米不等。它采用獨立控制和加熱的不同區域進行設計，允許精確的溫度剖析，以便更好地控制過程。BOC EDWARDS Helios 1在其工藝室中提供了卓越的統一性,以實現每個工藝的可重復結果。此外，它還具有可定制的退火和擴散輪廓，並且可以配備鈴鐺、繼電器等配件，使預熱和冷卻階段等先進能力得以實現。Helios 1設計具有先進的運動控制和更輕松的維護功能。它配備了一個Auto-load/Unload tile，以減少手動加載和卸載時間，並且它包括軟件，使用戶能夠輕松安排、監控和調整熱過程。它還提供了增強的數據收集能力，從而加強了對熱過程的監測和控制。BOC EDWARDS Helios 1是一個可靠高效的快速熱處理系統,它提供顯著更快的熱斜坡速率、出色的熱均勻性和可定制的輪廓,以實現高精度結果。加上其Auto-load/Unload瓷磚和自動加熱器的更換，Helios 1是現代半導體加工的寶貴工具。