二手 BOC EDWARDS Helios-S #9203025 待售

中銀愛德華茲太陽神-S是一款靈活、高性能的快速熱處理器（RTP），旨在提高半導體工藝的性能。它能夠快速、統一地執行一系列安全過程。它在整個晶片上提供比± 1°C更好的溫度均勻性,提供可靠且經濟高效的性能。Helios-S專為小規模研究應用和大批量生產而設計。它允許在25至1200°C的範圍內進行精確的熱處理。它具有極好的溫度均勻性、均勻的大氣和卓越的穩定性，能夠改善過程的一致性和可重復性。它使用常規快速熱退火（RTA）工藝的高級變體,允許高通量制造工藝。處理器具有快速上升和下降的速率,允許溫度的均勻和快速變化。這樣可以提高精度和均勻性,從而實現更好的設備性能和更小的模具尺寸。中銀愛德華茲太陽神-S包括垂直和水平管配置，以適應各種工藝要求。它還支持高達300 mm晶片的單面和多面處理。它利用傳統的混合氣體輸送設備提供所需的工藝和惰性氣體流動。Helios-S利用定制設計的自動化控制系統,該系統可與多個處理器聯網,允許靈活的流程參數。此外,該單元還包括用於高頻設備表征工具的控制功能,從而提高了流程性能。BOC EDWARDS Helios-S設計方便可靠操作。它利用用戶友好的軟件，允許用戶快速配置和操作機器。它提供方便的數據記錄功能,允許用戶更改設置點並遠程查看日誌值。此外,處理器還包括內置的過程控制和設備驗證功能,可確保可重復的性能。總之,Helios-S是一款先進的快速散熱處理器,能夠在不同溫度範圍內進行安全和高通量處理。它具有極好的溫度均勻性、均勻的大氣層和卓越的穩定性，為均勻的溫度曲線提供了更好的工藝一致性和可重復性。此外，它還具有方便的自動化控制工具和方便用戶的軟件，方便可靠的操作。