二手 BOC EDWARDS Helios-S #9203027 待售

中銀愛德華茲太陽神-S是一款快速熱處理器，設計用於半導體行業。它是當今市場上最先進的快速熱處理（RTP）系統之一,非常適合用於需要精確溫度控制和均勻熱分布的應用。Helias-S使用先進的控制軟件，確保在每個周期中都有精確的溫度控制。它每個周期最多可提供三個溫度設定點，並可以使用其內置的PID控制器精確監控30℃至1250℃的溫度。設備還配備了兩個晶閘管傳感系統和多通道輸出，用於熱測繪。此外,它還具有一系列安全功能,可防止發生危險的過熱情況。其中包括過溫和過流自動切斷裝置等。機器由兩個部件組成；主室和加熱工具。主室由石英壁構成，共有四個加熱區和一個集成氣體輸送資產。加熱模型由三個密封的鹵素燈盒組成，在腔內均勻散熱。這樣可以確保整個基板表面的溫度均勻。設備先進的可編程性和熱剖面範圍意味著它可以用於氧化、擴散、沈積、蝕刻和植入等過程。此外,隨附的掃描系統允許精確對齊,以確保進程準確地發生在您想要的位置。總而言之,BOC EDWARDS Helios-S是一款功能強大且精確的快速散熱處理器。它提供了前所未有的溫度控制、均勻的散熱和縮短的循環時間，使其成為尋求生產高質量和高性能半導體器件的公司的理想選擇。