二手 BOC EDWARDS Helios #168833 待售

中銀愛德華茲太陽神是中銀愛德華茲制造的快速熱處理器（RTP），真空系統、消減和半導體制造的技術領導者。Helios RTP是專門設計用於生產半導體器件的高性能並聯晶片處理設備。BOC EDWARDS Helios RTP提供了一個單一的自動化解決方案,用於各種處理操作,包括熱氧硝化、退火、擴散和蝕刻。它能夠在直徑達八英寸的時間內處理多達十六個晶圓，晶圓總負載為六十八個晶圓。Helios RTP采用模塊化設計,具有擴展功能,使制造商能夠靈活地配置其系統以滿足其生產需求。該單元有五個獨立模塊，每個模塊都有自己的控制器，以提供統一、可重復、可靠的性能。E-Cenury Automation Machine控制、監視和管理處理操作,以提供一致和可靠的結果,而無需手動調整或頻繁修改程序。E-Cenury自動化工具還與工廠自動化和過程監控系統（如全工廠和企業資源管理（ERP）軟件）集成,以確保與現有生產系統的兼容性。晶圓穿梭通過確保不間斷的實時過程控制最大限度地提高效率。這樣可以顯著減少裝載和卸載批次所需的開銷時間,這意味著生產周期更加高效和經濟高效。BOC EDWARDS Helios RTP非常適合在半導體生產過程中尋求高吞吐量、精確控制和最大靈活性的制造商。Helios RTP具有模塊化設計、統一的處理性能、集成的軟件和自動化操作,可提供可靠、可重復的結果,並最大限度地提高工作效率。