二手 BOC EDWARDS Helios #9096427 待售

BOC EDWARDS Helios是一種先進的快速熱處理器（RTP）,它能夠使諸如矽化、摻雜劑活化、缺陷愈合、金屬化和結晶等熱退火過程易於並入半導體器件制造中。Helios熱處理設備采用大功率燈和氣體驅動加熱器的組合，可配置為提供高達1200 °C的溫度。其嚴格控制的加熱能力是一系列工藝應用的理想選擇，包括退火、重結晶、硬化和模式化退火。BOC EDWARDS Helios采用雙控制區和專利摻雜YAG散熱器方案設計。這樣可以實現高度的靈活性和電源控制,允許用戶在進程之間快速切換,同時保持高度的保真度和均勻性處理。Helios還包括功能強大的圖形用戶界面（GUI）控制器,可實現高效的操作和改進的流程可見性。該系統包括各種監控工具，如集成紅外攝像頭，通過其分析軟件監控流程參數和機器性能，為用戶提供對流程的實時可見性。此外,BOC EDWARDS Helios還提供多種控制方案來精確管理熱過程,同時實現高吞吐量。這包括開環控制、手動控制和全自動配方驅動控制。Helios還配備了高規格的N2凈化裝置,無需儲存大量的氮,以及用於配方制造和管理的Micro ESC反應器。這有助於確保將任何與工藝相關的材料快速準確地輸入到工具中。BOC EDWARDS Helios快速熱處理器非常適合大多數需要快速、精確熱處理的應用。憑借靈活的配置、強大的控制系統和直觀的軟件,Helios允許用戶最大化設備性能,同時最大限度地減少流程時間和成本。