二手 BOC EDWARDS Helios #9203029 待售

BOC EDWARDS Helios是一款先進的快速熱處理器,專為半導體材料的快速高效熱退火而設計。該裝置是金屬、氧化物和化合物在高溫和腐蝕性化學品等惡劣環境中晶圓加工的理想工具。該系統在石英管爐（QTF）中采用先進的低氧環境，使退火過程能夠在非常短的時間內完成，通常在幾分鐘內完成。Helios快速散熱處理器提供了從96mm到200 mm的靈活腔室尺寸,以及嚴格控制的環境參數,可對各種精細半導體材料進行精確退火。它有兩個石英管；內部石英管用於樣品的霧化，防止顆粒物積聚，而外部石英管作為絕緣體，保持室內溫度和環境穩定。快速熱處理器還具有一些先進的安全功能,如自動閥門關閉和排氣,以及壓力控制密封,可降低意外過熱和暴露於危險溶劑的風險。此外，其寬廣的溫度範圍使得各種半導體材料能夠退火，而材料降解的風險最小。BOC EDWARDS Helios快速熱處理器還具有先進的SPS（基板保護系統）功能,它允許在基板在工藝室內時絕對控制溫度。這樣可以確保退火過程以最小的熱波動完成，並且基材的溫度保持盡可能一致。此外,其PID（可編程強度位移）允許通過隨時間調整溫度來微調退火過程,以創建最佳的溫度曲線。總體而言,Helios是一款先進的快速散熱處理器,為各種精細半導體材料提供快速、高效和安全的退火工藝。其靈活的腔室尺寸、精確的環境控制以及先進的安全特性，使其成為各種工藝的可靠高效的工具。