二手 BOC EDWARDS Helios #9203031 待售

BOC EDWARDS Helios是一款快速熱處理器，設計用於半導體、光電、光伏、太陽能電池、復合材料和醫療設備行業的研究、開發和生產應用中基板的快速、可重復處理。它在一系列基材上提供快速的熱退火、固化和其他材料加工溶液。它可以與各種沈積工具結合使用，如濺射離子鍍層和有機化學氣相沈積（oCVD）進行工藝優化。Helios有兩個標準的加熱輸入室，有可選的第三室和第四室，用於多室系統。它最多可同時處理四個樣品，最高溫度為1000 °C，具體取決於應用。這些腔室的直徑可達20mm，高度可達10mm。會議廳內的樣本持有者提供了一定程度的靈活性，提高了結果的可重復性。中銀愛德華茲太陽神的工藝控制非常精密。它具有先進的PID控制系統,可在50°C至1000°C的溫度範圍內進行精確的溫度控制。它還具有高級可編程斜坡速率控制功能,允許用戶在垂直軸上創建預定義的斜坡速率,以獲得一致的過程結果。加熱器是固態的，具有用於精確控制的傳感器陣列和用於網絡集成的強大數字通信鏈路。Helios對工藝室環境和工藝參數擁有全面控制，使用戶能夠精確控制溫度、氧氣控制大氣、壓力和真空等熱工藝參數。控制系統還提供控制氣體流動和監測濃度的能力，這些濃度可以設置為適合於介電和其他材料沈積的水平。BOC EDWARDS Helios具有符合行業安全標準的良好安全特性。它有溫度和減壓閥，過溫防護切口和防爆外殼。它還具有可編程的時間延遲和各種可以設置的安全設置，以便符合當地的安全法規。Helios還提供了一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI），便於設置和操作。總體而言,BOC EDWARDS Helios是一款先進且高度靈活的快速熱處理器,能夠在各種基板上進行各種熱處理。它具有良好的工藝控制技術，可實現精確的溫度和工藝參數控制，以及全面的安全系統。它可以與其他流程工具結合使用，以優化流程並確保可重復、一致的結果。