二手 CENTROTHERM RTA 150 #9239213 待售
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單擊可縮放
ID: 9239213
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
System, 6"
Heating power: 50 kW
Max process temperature: 1200°C
Max ramp rate: 150 K/s
Temperature accuracy: ±0.5 K
Processing gases: N2, N2H2
Heating system: (24) Lamps, PWM
Pressure controlled vacuum / Atmospheric
LEYBOLD HERAEUS Dura Dry 105 Vacuum pump
Applications:
Annealing
Dopant activation
Dry oxidation
Metal contact anneal
Barrier metal anneal
2007 vintage.
CENTROTHERM RTA 150是一款快速熱處理器,由總部位於德國的科技公司Centrotec Sustainable AG制造。它是半導體和電子制造商用於熱處理的可靠、高效和強大的工具。該設備旨在為各種基材和材料提供快速、精確和均勻的熱處理。RTA 150能夠在幾秒鐘內加熱、冷卻和固化熱過程。它采用專利冷卻技術,將基板冷卻速度高達每秒24°C。這種快速冷卻技術確保了一致、可重復和統一的結果。該系統配備了一個快速的熱處理器,允許快速的溫度轉換和精確再現預先設定的溫度輪廓。通用的CENTROTHERM RTA 150提供一流的溫度均勻性,在整個過程中平均最高溫度± 1°C。這使得該單元成為現代、具有挑戰性的過程的理想之選,如銅柱碰撞、超薄模具連接、芯片規模封裝翻轉芯片組裝過程。該機器帶有幾個內置的安全功能,包括壓力傳感器和安全聯鎖來保護基板,以及溫度和氣體監測。RTA 150還有一個用戶友好界面,允許遠程監視和控制操作,以及數據記錄和審查。CENTROTHERM RTA 150是一款先進的快速熱處理器,旨在滿足當今半導體和電子制造業的需求。其快速的熱傳遞能力使其成為高級流程的理想選擇,而其非統一性和安全性特性確保了一致、可靠的結果。
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