二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527 待售

DNS/DAINIPPON LA-820是一種快速熱處理器（RTP）,用於為基板或晶片提供熱處理,以創建所需的電氣、光學和機械性能。RTP采用加熱元件、氣體控制系統和真空技術的組合，對基板進行均勻的熱處理，同時確保室內外的熱量損失或輻射最小。DNS LA820具有兩個獨立操作的腔室,非常適合在不同階段需要不同溫度的工藝。由於每個腔室都是獨立操作的，它允許更快的循環時間、更少的維護成本和更少的過程之間的汙染。它還有一個溫度控制系統，可以精確控制每個腔室的溫度。RTP具有高精度的高溫計，可連續獨立地測量每個腔室的基板溫度。這樣可以確保在過程中保持精確的溫度設置。高溫計可以測量高達900 °C的溫度。腔室之間的溫度均勻性也在± 1 °C以內。DAINIPPON LA 820還具有快速循環時間,可將能源成本降至最低。它的氣流控制器允許對每個腔室進行獨立的氣流控制。這提供了準確的氣體控制，確保可靠的等待溫度測量。RTP的總循環時間通常為10秒,具體取決於基板尺寸、溫度分布和所使用的氣體。除了氣體控制，LA 820還有一個主動真空系統，包含一個集成的螺旋渦輪泵和一個粗加工泵。這樣就不需要外部泵和防止過程之間的汙染。集成真空系統還為氧化或氮化等過程提供了受控氣氛。總體而言,DNS/DAINIPPON LA 820是一種高效的快速熱處理器,可為基板和晶片提供高精度、高溫熱處理。它提供了快速的循環時間和精確的溫度控制，同時也提供了可靠的氣體控制和受控的大氣。