二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198165 待售

DNS/DAINIPPON LA-820是一種快速熱處理器（RTP）,專為高級微加工和設備表征中的應用而設計。它是一種堅固可靠的設備,具有高精度和重復性.該系統能夠產生每個重復周期時間為10毫秒的熱循環。它提供-150°C至550°C的熱處理溫度範圍,分辨率為0.1K,溫度均勻度為2K ±。該裝置包括一個裝有具有熱循環能力的爐子的快速加熱熱板，以及一個裝有惰性氮或氙氣供應機的封閉反應室。反應室允許處理多達四個晶片，每個晶片的尺寸為8英寸。直徑。腔室溫度範圍為25°C至350°C，分辨率為0.1K，溫度均勻度± 2K。該工具還包括一個四軸平移級，可在熱處理過程中精確控制晶圓的位置和方向。集成控制資產提供高精度和精確度。它還可以檢測熱處理過程中的任何異常，使其適合用於高精度、復雜的熱處理過程。集成的數據記錄軟件使用戶能夠監控各種工藝參數，如溫度、氣體濃度和流速。DNS LA820配備了幾個安全功能，包括閉環溫度控制模型、故障安全傳感器以及超溫情況下的自動關閉。該設備還包括一個熱操作軟件，使用戶能夠對設備熱循環序列進行編程，包括高精度的斜坡/冷卻序列。DAINIPPON LA 820是先進的微加工和設備表征的理想系統。它提供了非常快速的熱循環能力和強大可靠的單元，高精度和可重復性。適用於具有一系列熱型材的多個晶片的加工，使其適合多種應用。