二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198238 待售

DNS/DAINIPPON LA-820快速熱處理器是一種最先進的設備,用於實現快速熱處理（RTP）的溫度循環。該裝置通常用於制造具有超短熱過程的集成電路（ICs）。這使處理器能夠在精細的步驟中進行分析,其精確的溫度控制和高精度可防止有害的熱損壞。DNS LA820由包括腔室在內的主體、滾筒式對流（RTC）機構和快速熱加熱冷卻技術組成。滾筒式對流用於產生均勻的溫度分布，並將熱量傳遞到腔室內部進行RTP。為了保證溫度的精確控制，加熱和冷卻源的輸出功率由車載電源監控系統和用戶界面管理。此外，基於溫度的室內實時溫度測量可以在每個熱過程步驟中進行精確的溫度控制。DAINIPPON LA 820的其他特性包括從室溫到1050°C的寬廣溫度範圍、高達± 3°C的均勻溫度分布以及實時測量溫度的中紅外光源。此外,1,200 °C/s的最大加熱和冷卻速度可促進RTP過程。DAINIPPON LA820快速熱處理器的優點包括性價比高、均勻性高、操作簡單。該裝置適用於半導體制造、太陽能電池生產等RTP應用。此外,該設備最多可配置五個加熱和冷卻區域,從而允許在大面積內進行均勻的熱處理。此外,它的準確性消除了熱應力,確保了設備的功能和可靠性。