二手 EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589 待售

EATON NOVA/AXCELIS Summit XT是一種快速熱處理器,在600°C至800°C的溫度下快速處理優質晶圓材料,如矽、​​、砷化氙和超晶格。它專為亞微米光刻應用而設計，允許金屬層和其他材料的精確蝕刻和摻雜，用於晶圓的產生。AXCELIS Summit XT一次最多可以處理18個晶片，並且可以連續運行，使得可以在短時間內制造多個晶片。設備采用AXCELIS開發的感應加熱技術，快速高效地加熱晶片。該系統還配備了一個四區熱壁燒燒器，稱為脈沖星12，具有優化的電阻加熱元件，允許精確的溫度控制。EATON NOVA Summit XT提供高精度和重復性，以及熱氧化和蝕刻的工藝窗口。它具有自動化的計算機控制過程步驟以及提高操作員安全性的自我診斷能力。該機還配備了先進的診斷，如數字溫度概況和每區溫度反饋。提供了一個實時配方數據庫，允許預先編程的可重復進程。Summit XT提供了出色的工藝一致性和改進的工藝可重復性，特別是在處理多晶矽等難以加工的材料時。它是一個低維護單元,采用模塊化組件和重復冗余功能設計,便於維修和維修。EATON NOVA/AXCELIS Summit XT包含許多標準功能，例如內部熱電偶測溫端口和提供機器實時自動操作的過程控制器。還包括詳細的過程監控、自動安全鎖定、安全控制繼電器等。該工具還提供了氮氣和氙氣環境控制選項、自動氣體關閉和遠程關機連接。綜上所述,AXCELIS Summit XT快速散熱處理器是一項可靠、準確的資產,旨在以精確和可重復性快速處理晶片。它操作簡單,提供多種工藝選項,並提供高級診斷和安全功能。