二手 KORONA RTP-1200 Plus #9411492 待售

KORONA® KORONA RTP-1200 Plus快速熱處理器是一種高性能、模塊化的快速熱處理器,能夠對半導體晶片進行快速熱處理（RTP）和快速熱退火（RTA）。處理器具有恒定速率、高溫、四區水平爐、真空負載鎖和帶雙套冷卻線圈的強制空氣冷卻設備。處理器還能夠就地實時重組沈積。四區恒速直熱處理器設有快速熱室。四個烤箱室用獨立調節的電源加熱，允許傳統或先進的RTP或RTA配方。這四個區域分別加熱和冷卻，可以按順序或同時操作。處理器能夠在不到30秒內將晶片傾斜,在10秒內將其冷卻到用戶指定的溫度,並將晶片保持在明顯較低的溫度。為確保RTP-1200 Plus的精度和可重復性，基於PLC的控制系統采用了先進的工藝溫度監測和控制。該裝置設計用於監測和控制整個工藝室的溫度，包括上下加熱器。控制機還具有獨立監測和控制每個區域溫度的能力。真空負載鎖定工具有助於保持精確控制的處理。處理器的負載鎖設有目標壓力控制，能夠將腔室壓力維持在預定的水平，使其不幹擾半導體晶圓的熱處理。強制空氣冷卻資產確保了從工藝室到環境空氣的高效熱傳遞，從而確保加工後的晶片溫度保持在所需的水平。雙套冷卻線圈用於實現晶片的高速冷卻。KORONA RTP-1200 Plus還具有進行現場實時重組沈積的能力。處理器采用了專門設計的RTP-CVD或RTP-PECVD塗層模型，能夠在一系列半導體材料上沈積均勻的薄膜。KORONA® RTP-1200 Plus快速熱處理器可以在各種溫度範圍內處理半導體晶片,並且能夠執行RTP和RTA過程。處理器配備了高度精確的控制設備、真空負載鎖、四區水平爐以及雙套冷卻線圈的強制空氣冷卻系統。該處理器是任何需要可靠和高性能快速熱處理器的半導體制造工廠的理想解決方案。