二手 MATTSON 3000+ #9210952 待售

MATTSON 3000+是一款高性能快速熱處理器設備（RTP）。它被設計用於利用快速熱技術的先進和專門的半導體制造工藝。該系統基於一個並行熱陣列，它向各種基板提供高達1000 W/cm的高度集中熱能²。3000+還具有高度精確的溫度控制單元,它能夠在整個熱過程中以±0.5℃的精度維持整個晶片的溫度。這種精確度使得能夠生產高質量的產品，並為先進的半導體器件提供卓越的工藝控制。並行熱陣列通過特殊的陣列掩碼聚焦，使輸出精確匹配所需的工藝要求。MATTSON 3000+還提供高級功能,如集成過程監視和現場診斷。這樣可以實時監控流程條件,確保流程在指定參數內最佳運行。這臺機器還包括一個全面的軟件包，允許完全的可編程性和控制工具的操作。3000+為執行從退火和燒結到材料的電阻和非電阻固化等一系列加工任務提供了一種高效、可靠和經濟高效的方法。它減少了處理時間,並允許生產具有卓越物理尺寸和可靠性的設備。該資產非常適合高效可靠地生產半導體器件和組件。