二手 MATTSON AST 2800 #293811095 待售

MATTSON AST 2800是為晶圓高效熱處理而設計的最先進的快速熱處理器。它能夠準確、精確地控制疏散室內的溫度，以快速加工晶片，減少生產時間。這種精度和速度的結合是可能的，因為它先進的原位自感技術，能夠實時精確測量溫度和時間。MATTSON 2800在成本和空間效率方面也具有優勢，與其他同類工具相比，需要更少的占地面積，並在保持最高質量水平的同時產生運營成本節約。AST2800具有一整套功能,包括可堆叠處理多達128個晶片、高溫（最高700 °C）和快速熱坡道（最高150 °C/秒）、可選擇從氫到矽烷的氣體、低系統壓力（最低1 mb）以及一系列工藝配方,所有這些都可以為客戶應用進行修改。溫度均勻度步驟也非常精確，達到≥+/-3°C的精度，浸泡時間<3分鐘。在安全性方面，MATTSON AST2800利用HEPA/ULPA過濾確保無顆粒環境，並設計為滿足1級潔凈室要求。2800還有一個自鎖抽屜，用來存放加工材料，同時保持溫度穩定，還有應急電源存儲、超溫監視器和聯鎖系統，如果檢測到異常情況將關閉電源。總體而言，AST 2800是現代生產的理想工具，提供高效、精確、安全的熱處理。憑借其先進且可定制的功能,它能夠滿足廣泛的客戶需求,同時保持流程質量和成本效率。