二手 MATTSON AST 2800 #293820853 待售

MATTSON AST 2800快速熱處理器（，簡稱RTP）是為高通量晶圓處理而設計的半導體器件處理設備。該系統提供一系列具有精確溫度控制的熱處理,能夠執行0.5至15攝氏度的溫度斜坡速率。該機組的熱處理室可配置多達12個溫度區，每個溫度區都有可調氣流和溫度範圍，允許精確執行熱處理。該裝置旨在為各種應用提供快速循環的精確熱處理。機器的快速加熱和冷卻過程使其成為從晶圓的頂部到底部生產超精確溫度坡道的理想選擇。它還旨在減少總熱處理時間,同時提供精確和一致的熱處理條件,從而實現工藝優化和大幅節省成本。此外，MATTSON 2800為安全操作而設計，具有氧化物積聚過多時自動保護關閉、工藝氣體泄漏、熱剖面不足等安全特性。該工具還配備了眾多的控制系統，以幫助確保持續的質量控制。AST2800是一種適用於各種半導體應用的通用處理資產,包括內存芯片制造、超淺接頭形成、薄膜沈積和蝕刻工藝。RTP模型的靈活性允許用戶根據自己的應用需求定制設備配置。AST 2800還與MATTSON VISATM Automation Software兼容，後者支持自動晶圓處理、數據采集和過程日誌記錄。這為用戶提供了其RTP操作的靈活性,允許他們創建和保存配方,以及實時監視和控制系統參數。用戶還可以導入和導出食譜以供將來使用,並且軟件可以根據個別實驗室條件進行定制。綜上所述,2800 Rapid Thermal Processor是一款多功能、高性能的設備,適用於多個半導體應用。它配備了先進的安全功能、精確的溫度控制和自動化的軟件，為用戶提供了快速熱處理晶圓的可靠、高效、經濟高效的解決方案。