二手 MATTSON AST 3000 #293815931 待售
網址複製成功!
ID: 293815931
Rapid Thermal Processing (RTP) system
(2) Axiom chambers
(3) Load / Unloaders.
MATTSON AST 3000是一種快速熱處理器(RTP),設計用於半導體和納米技術材料的最佳熱處理。這種先進的RTP特別適合在短時間內需要高溫的熱過程。MATTSON AST3000熱質量低,非常適合高級工藝測試和生產需要。AST 3000基於MATTSON專利的異常子閾值加熱技術。這與溫度控制算法的改進一起,使AST能夠快速準確地定義樣品的熱剖面。AST3000熱頭由一系列高精度熱傳感器和電子設備組成。它們取代了傳統的棱鏡/桿熱頭,允許在幾秒鐘內在0.1-3500攝氏度的範圍內訪問溫度。此外,MATTSON AST 3000在冷卻過程中具有接近零的加熱時間,即使在要求最苛刻的處理過程中也能提供很高的熱穩定性。MATTSON AST3000具有直觀的用戶界面,提供易於讀取的陣列,以圖形格式顯示溫度、時間和過程。通過簡單的選擇,用戶可以快速設置熱參數和熱/冷控件來監控過程。該系統還提供溫度穩定、批次編程、分數控制、應力補償、即時控制以及可定制的加熱和冷卻剖面等高級功能。常規流程還支持區域控制、本地優化和錯誤保護等功能。所有數據都存儲在USB內存密鑰上,並且可以與任何類型的PC或數據記錄器連接。除了其快速的熱控特性,AST 3000在安全性方面也有所進步。它的高精度溫度控制算法和專用的安全系統提供了卓越的保護,防止任何意外過熱或處理。AST3000是滿足磷酸鹽擴散、揮發和源流植入以及納米加工先進熱處理等苛刻工藝要求的理想選擇。這款卓越的散熱處理器提供卓越的性能、可靠性和安全性,是滿足困難和苛刻的處理需求的理想選擇。
還沒有評論