二手 MATTSON AST 3000 #293816538 待售

MATTSON AST 3000是一種快速熱處理器（RTP），設計用於半導體基板的高精度熱處理。這款第三代RTP包括一些功能,使最終用戶能夠實現精確的溫度升高、出色的溫度均勻性,並延長了生長和退火配方的運行時間,使其成為低批量生產或難以完成的工藝開發任務的理想選擇。MATTSON AST3000具有一個可容納400毫米晶圓的大型加熱區域,以及一個300毫米區域和一個額外的保護環,以提高溫度均勻性。該系統與Keco技術、GaAs技術包和數字控制集成在一起，提供精確的精度和溫度控制的重復性，以及在復雜的熱過程中運行困難配方的靈活性。AST 3000的全封閉式垂直設計確保了一致的總內部反射（TIR）,並消除了與開放平臺系統關聯的常見運行到運行的變化。此外,可選的氣體輸送系統允許在整個過程配方中運行多個氣體階段。該系統還為工藝前和工藝後溫度表征和監測提供了高精度驗證包。AST3000配置有靜態和動態機械真空夾頭。靜態真空將基板牢固地固定在適當位置以進行精確的熱傳遞，而動態真空則確保基板在機械位移過程中的位置精度。MATTSON AST 3000還具有專有的快速內部劑量管理（FIDM）算法,該算法能夠精確控制快速溫度坡道,並具有獨特的短時間內停止和移動（SPSG）算法,以實現卓越的穩定性和可重復性。MATTSON AST3000旨在顯著提高熱處理效率和準確性,同時允許顯著的產品周轉時間。這有助於操作員在整個生產過程中降低成本,並提高整個過程的可重復性。