二手 MATTSON AST 3000 #9281772 待售

MATTSON AST 3000是一款高性能快速熱處理器，由MATTSON Technology, Inc.制造。它是為半導體晶片的低通量和高通量熱處理而設計的通用設備。MATTSON AST3000能夠每小時處理多達200個晶圓,並為晶圓模具、基板和其他工藝溫度在-100至1200 °C之間的物體提供精確的熱控制。該系統能夠同時處理多達15個單獨的晶片批次。它利用高速SCAR（選擇區大氣保留）原理對加工室進行處理，以最小的氣體交換實現快速熱處理循環。AST 3000利用MATTSON專有PROCESSWARE軟件進行過程控制、監視和數據導出。它包括多配方執行、計算機控制的數據采集和實時監控等功能。它還配備了一個自動溫度控制單元，以提高精度和可重復性。這臺機器的大型觸摸屏顯示屏提供了一個直觀的用戶界面，便於控制。AST3000提供極其精確和可重復的熱控制,非常適合需要精確溫度控制、可重復性和循環時間的生產運行。其高熱通量和準確性，加上直觀的用戶界面和穩健的設計，使其成為尋求可靠和長期熱處理的制造商的絕佳選擇。