二手 MATTSON AST 3000 #9359569 待售

MATTSON AST 3000是由MATTSON開發的一款緊湊、高性能的快速熱處理器，用於滿足先進半導體器件生產中對先進技術的需求。MATTSON AST3000具有高效的熱處理技術和高精度的處理,能夠以比傳統系統更快的速度提供熱退火和驅動循環。AST 3000包括許多優勢功能,可提高性能和準確性。它采用了多環爐設計，允許對每個單獨的環進行獨立的熱控制，允許各種可用的驅動和退火循環。可編程的等離子體源允許在更復雜的過程中使用更多的氣體成分。此外,它還具有高精度溫度控制器,其超短退火時間可降低對精密設備造成熱損壞的風險。AST3000還提供高吞吐量和高級分析功能。溫度感應傳感器單元和內置石英窗能夠對過程中參數進行高精度分析，從而實現更一致的過程控制。多區域技術允許選擇不同的處理區域，從而允許更大的處理靈活性。MATTSON AST 3000設計用於生產高級和高精度半導體元件。其高性能熱處理能力使其非常適合3 D器件制備、工藝優化、快速器件老化評估以及先進精細半導體器件快速熱處理等應用。這款自動化的快速散熱處理器用戶友好且易於設置，其創新設計意味著可以針對每一個應用程序和特定需求進行優化。此外，MATTSON AST3000提供卓越的能源效率和強大的熱控制，使其成為生產高精度和高性能半導體元件的有效和經濟高效的手段。