二手 MATTSON AST 3000 #9390654 待售

MATTSON AST 3000是一款革命性的快速熱處理器（RTP），旨在為半導體處理操作提供卓越的吞吐量和成本降低。MATTSON AST3000具有先進的技術和先進的自動化設備,是高級應用步驟的理想工具,如退火、擴散、薄膜層沈積和加工,以及等離子體蝕刻和清潔,以及單晶圓和雙晶圓加工。AST 3000的設計基於模塊化的「Platform 3000」體系結構,它允許添加和升級,而無需完整的系統重建。AST3000是高度可配置的,並提供從數字PCR單元到增強溫度控制的廣泛功能。它能夠寬廣的溫度範圍，從50°C到500°C，使得它適合各種熱的應用。這種先進的散熱設計還可以加快坡度和冷卻速度。MATTSON AST 3000配備了多種安全特性，如溫度過高的保護機制，以及雙模、溫度調節的晶圓提升機制。提供了可選的可疏散負載鎖,它允許更快的熱循環和增強的過程控制。此外，該平臺支持用於監控流程參數和個別機器性能的高級軟件包。MATTSON AST3000配備了先進的自動化機器，整合了多個系統的任務，減少了生產中的體力勞動。與傳統的手動流程相比,吞吐量可以提高到5倍。總體而言,AST 3000是一種先進的工具,可用於提高半導體處理操作的吞吐量和成本效率。它提供了性能、特性和經濟性的最佳組合。