二手 MATTSON Hel-A4906 #9384683 待售

MATTSON Hel-A4906是一種快速熱處理器（RTP）,可提供精確的加熱、冷卻和均勻性,而不是半導體晶圓。該設備可提供精確的溫度曲線,用於快速開發和表征過程。它是一種基於標準熱機箱（STC）技術的計算機控制設備,允許實時設置和監視每個工藝階段。Hel-A4906配備了惰性環境以實現無汙染過程。RTP具有兩區操作,可將溫度從20-800°C調整。兩個溫度設置、兩個過程壓力設置和寬廣的溫度傾斜範圍可為所有應用程序類型提供精確且可重現的熱過程。RTP還配備了先進的微重力技術，旨在減少半導體應用表面的熱不均勻性，並允許提高均勻性。MATTSON Hel-A4906還具有一流的真空系統,能夠對中低壓過程進行精確的過程控制,範圍為0.00100-760 Torr。真空裝置包括多級擴散和渦輪泵，以達到盡可能高的疏散速率。一個可選的額外真空機可以並入到工具中，提供超高真空處理。RTP資產的設計與各種質量控制工具兼容：該儀器可與光學顯微鏡系統、原位掃描電子顯微鏡和X射線光譜儀集成。它還具有供氣、質量流量控制器和外部應用的嵌入式通信協議。該模型允許整合幾個自定義定義的資源，如泵、歧管、閥門和氦氣泄漏檢測器。此外,該設備還具有許多安全功能,例如獨立的溫度過高保護和自動關機系統,如果檢測到安全關鍵故障,該系統將運行。銅塊用於樣品穩定和熱均勻性。該單元還允許集成一個額外的射頻源。總體而言,Hel-A4906是業界領先的RTP機器,它提供對加熱和冷卻配置文件的精確控制,以支持快速和統一的過程。其集成的質量控制工具和高級功能確保了可靠的流程性能和可重復性。