二手 MATTSON HELIOS #293665736 待售

MATTSON Helios是一種快速熱處理器（RTP），旨在對各種基材和材料進行廣泛的熱處理。Helios的創新設計使它能夠在幾秒鐘或幾分鐘內將材料加熱到900 °C。它經過靈敏的工程設計，在整個晶圓表面采用嚴格的嚴格工藝控制和均勻性。MATTSON Helios利用PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）和準分子激光退火技術，在不影響均勻性和工藝控制的情況下實現盡可能快的加熱速率。這使得該工具能夠以精確的溫度和時間間隔處理不同的基材和材料，同時將熱預算降至最低。Helios還配備了一個高溫範圍加熱器，可在950攝氏度以下的溫度下進行退火、雙5kW低噪聲、高密度等離子體源以及在批量或串聯RTP模式下運行的能力。MATTSON Helios為用戶提供了一種創新、快速和可靠的工藝工具,可以精確控制各種熱工藝中的溫度和時間。其堅固的設計、嚴密的控制和均勻的加熱使不同的材料能夠精確退火，從而產生優質的產品。它的快速加熱能力、高溫範圍加熱器和多個等離子體源為用戶提供了高精度控制參數的能力。這使Helios成為尋求可靠、高性能RTP和出色過程控制的用戶的理想選擇。