二手 MATTSON HELIOS #293762406 待售

MATTSON HELIOS是一種快速熱處理器，設計用於快速加熱和冷卻半導體晶圓材料，具有精確和可重復性。它是一種閉環半自動加工工具，根據熱傳感器的反饋和正在監測的晶片表面的實際溫度來調整晶片的溫度。熱處理器配備了快速熱響應設備，確保晶圓的溫度環境更加穩定，允許長時間的溫度控制。它還有一個支持多種氣流的可變流量氣體控制系統。這個單位允許通過改變氣體的任何組合的壓力/流速來確定一個溫度範圍。HELIOS主要用於熱處理步驟中的晶片退火，如氧化、擴散和離子植入。氧化過程中可調節的溫度設置可以改善加工設備的電氣特性。通過控制溫度，可以比傳統退火方法更快速、更準確地實現更高的溫度。機器的升級也很方便，因為它可以針對不同的工藝配方和不同類型的晶圓進行編程。它還有一個嵌入式控制器,可用於過程監視和控制。此外,其直觀的GUI允許輕松編程和過程優化。MATTSON HELIOS也被用於減輕壓力。它的快速熱響應工具能夠創建無應變晶片，並具有一致的可靠結果。通過保持高溫，然後將晶片材料快速冷卻至室溫，減輕應力過程有助於均勻地松弛晶片結構中的殘余應力。HELIOS在溫度控制、可重復性和可升級性等方面具有優越的特性。通過對溫度可調節的半導體晶片材料進行精確加熱，非常適合實現良好的電氣特性和減壓效果。這使得它成為滿足半導體行業中高批量生產需求的理想選擇。