二手 MATTSON Helios #293821467 待售

MATTSON HELIOS是一種快速熱處理器（RTP），專門為半導體工業中的工藝應用而開發。它是一種低壓高溫系統，設計用於快速準確地加熱和冷卻，使用戶能夠統一處理晶片。HELIOS的主要應用包括半導體材料的快速熱退火、活化、擴散、氧化和氮化。該系統配備了快速反應高溫工藝室、溫度控制、RTP監視器以及配套公用事業。MATTSON HELIOS是一款6英寸、100毫米角仰角快速熱處理器。采用兩種不同的加熱方法，設計成均勻快速加熱和冷卻晶片。第一種是直接視線加熱源，從加熱元件向晶片提供直接加熱。二是間接視線法，將視線窗口融入系統，使能量可以通過，並根據需要加熱或冷卻。這使得晶片表面的加熱或冷卻更加均勻。HELIOS還包含了幾個用於精確溫度監測的功能。這些功能包括實時溫度讀出顯示器、熱飛行時間探測器和用戶選擇的用於精確溫度控制的熱擴散率參數。飛行時間探針測量從加熱元件發出的能量到達晶圓所需的時間，可用於計算所需過程的最佳溫度。MATTSON HELIOS還有幾個功能，為用戶提供了高度準確和可重復的結果。這些功能包括溫度循環器、傾斜計時器和微汙染監視器。溫度循環器提供了一個方便的方式，用戶循環通過提高精度和可重復性的過程。傾斜計時器會根據任何給定過程所需的保持時間自動調整RTP的傾斜角度。最後，微汙染監測能夠準確檢測過程中的汙染物。此外，HELIOS還設計了安全措施，以確保所有在該單位附近工作的人員的安全。這包括一個玻璃室，當檢測到暴露於該室時，它會自動關閉設備。它還包括滅火系統和自動關閉，如果微波是過度發射。總之，MATTSON HELIOS是一種通用可靠的快速熱處理器，為各種半導體工藝提供均勻的加熱和冷卻。它具有符合人體工程學的設計，確保人員安全，並提供精確的溫度控制，以實現準確和可重復的結果。