二手 MATTSON HELIOS #293821685 待售

MATTSON HELIOS
ID: 293821685
Rapid Thermal Processors (RTP).
MATTSON HELIOS是一款高性能、強健的快速熱處理器(RTP),設計用於關鍵熱過程中的高效、精確溫度控制。HELIOS配備了大功率半絕緣射頻發生器、先進的溫度控制算法、高精度的自動溫度測量以及優化的硬件和軟件配置。它利用高容量的石英和石墨敏感器,由強大、節能的射頻發電機快速均勻加熱。預編程的熱輸入剖面結合了快速加熱、精確溫度控制和快速冷卻,實現了快速、高精度的熱處理結果。同時,實時閉環溫度控制算法確保了高精度、可重復、可靠的過程溫度控制。此外,通過內置熱電偶精確和連續地測量磁感器的溫度,該熱電偶也可以設置為根據所需功率或溫度水平來控制磁感器溫度。通用軟件允許可變流程定制,集成的半自動工具用於數據記錄功能,提供高效、可重復的處理。為支持儀器的高溫安全運行,MATTSON HELIOS設計了一個模塊化寬敞的防火材料外殼、空氣過濾系統和緊急關閉系統。它還提供了一些安全功能,如密封、火災探測以及視聽報警。總體而言,HELIOS是一款先進的快速熱處理器,可確保高精度、可重復和可靠的溫度控制,以及可靠高效的熱處理。適用於廣泛的行業,包括半導體、薄膜、汽車、醫療、科研。
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