二手 MATTSON HELIOS #9315046 待售

MATTSON HELIOS是一種用於半導體制造的快速熱處理器（又稱RTP）。HELIOS由MATTSON Technology創建,是一種用於芯片制造的全自動熱處理設備,能夠提供精確的熱處理過程,這對於形成先進的半導體產品至關重要。MATTSON HELIOS RTP專為各種基板的快速熱處理而設計，如矽、III-V化合物和寬帶隙材料。它提供了極快的熱處理時間，在所有晶片上具有快速的溫度轉變和均勻性範圍。此外，這種RTP能夠提供高溫、高劑量的工藝，非常適合興奮劑、植入、氧化、氮化和金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）等應用。系統強大的設計和模塊化配置可以輕松滿足任何特定的流程要求。HELIOS RTP是一個緊湊高效的單元，在很小的空間內提供熱處理。它配置了最先進的熱控制和反饋系統,以確保始終可重復的溫度配置文件、準確性和前端自動化。此外，該機器還包括一個自動化的前端機器人，該機器人具有整體式晶圓處理功能，並具有集成的大氣溫度和壓力測控等選項。該工具還設計了一流的熱氧化和氮化模塊，以及用於純凈材料沈積的超清潔MOCVD模塊。它還具有可選擇的系統，可以將鋁、​​和鈷與氮化​​物的阻隔層相沈積，從而最大限度地減少汙染。該資產還具有自我清潔功能、高吞吐量、額外的診斷工具和遠程支持功能。總體而言,MATTSON HELIOS是一款可靠而精確的RTP,它提供了廣泛的高級功能來滿足所有半導體制造需求。它是一種經濟高效的高速熱處理解決方案,為快速、一致的處理提供自動對齊和過程控制。