二手 MATTSON HELIOS #9378666 待售

MATTSON HELIOS是一種快速熱處理器（RTP），設計用於各種基板的自動處理。RTP系統被用於多種應用，包括電子制造、生物醫學器件制造和納米電子器件制造。RTP設備由幾個元素組成,它們協同工作以快速準確地處理基板。RTP系統的主要組件包括控制器、預熱器（或預熱源）、加熱器板、感光器、真空卡盤、熱交換器和氣體輸送。控制器用於為每個組件設置溫度,並且可以更改處理參數,如溫度、壓力和氣體流量。控制器還提供用於監視、控制和通信的外部接口。預熱源在每個加工步驟之前將基板表面加熱到特定溫度，從而在整個材料中產生均勻的溫度。這通常通過使用電阻加熱器來完成，HELIOS預熱源使用紅外燈。加熱器板在過程中為基板提供能量。MATTSON HELIOS利用微波、對流和歐姆加熱來保證基板的快速甚至加熱。安裝在加熱器板下側的感光器用於在加工過程中固定基板。HELIOS敏感劑采用高導熱性的陶瓷材料進行高效傳熱。真空卡盤用於將感光器和基板固定到位，以及提供真空密封以創建真空室。MATTSON HELIOS利用3點支撐真空卡盤單元對基板進行精確對準。熱交換器在加工後冷卻基板的溫度，防止熱損壞或樣品過度處理。HELIOS熱交換器采用對流、傳導和輻射冷卻相結合的方式進行高效冷卻。最後，氣體輸送機向工藝室提供惰性氣體或反應性氣體，確保了工藝的合適氣氛。MATTSON HELIOS利用多級氣體輸送工具，可以精確控制所用氣體的流量、壓力和類型。HELIOS是一種功能強大且可靠的RTP,用於快速準確的基板加工。它結合了預熱源、加熱器板、敏感器、真空卡盤、熱交換器和氣體輸送資產，使其成為精密基板加工的理想解決方案。