二手 MATTSON HELIOS #9382889 待售

MATTSON HELIOS是由MATTSON Technology, Inc開發制造的快速熱處理器。它是為各種先進的金屬化和晶圓制造任務而設計的大型系統。這臺功能廣泛、功能強大的機器廣泛應用於集成電路、微電子和納米設備的制造。處理器利用先進的快速熱處理技術實現高吞吐量。它在同步處理階段提供了無與倫比的準確性、可重復性和穩定性。系統包括可容納550毫米或200毫米晶圓的大腔室。它還具有獨特設計的雙區域處理體系結構,減少了完成每個金屬化和基板制造任務所需的時間。HELIOS采用自動化過程控制器（APC）,配備強大的設計套件和用戶友好界面。這使用戶能夠在短時間內創建和保存配方、調整參數並輕松監控生產步驟。處理器設計為使用氧氣、氮氣和其他元素的氣體混合物進行快速熱處理。為方便起見，它還配備了內置吸塵器，顯著降低了氣體消耗。處理器是模塊化的,允許用戶根據特定的應用程序集成其他模塊。這臺多功能機器適用於化學機械拋光（CMP）、自旋晶片制造、電鍍、擴散、氧化、氮化和晶片測試等多種工藝。MATTSON HELIOS還支持大量附加選項,允許用戶根據特定需求自定義系統。總體而言,HELIOS是一款功能強大且用途廣泛的快速散熱處理器,旨在滿足高級金屬化和晶圓制造任務的不同需求。它提供了卓越的準確性、工作效率和靈活性,可實現高速和經濟高效的處理。