二手 MATTSON HELIOS #9382891 待售

MATTSON HELIOS是一款利用直接加熱進行高精度熱處理的快速熱處理器。它旨在快速高效地處理各種半導體基板的小批量和大批量。HELIOS提供退火、燒結、粘合和固化材料的高級功能,而無需原位真空。MATTSON HELIOS具有多種工作站功能,適用於試點和生產級別的應用程序。HELIOS的直接熱能輸送設備（DTED）利用了幾項創新技術來確保精確和高質量的基板處理。其先進的平面加熱（APH）技術將熱量均勻地分布在基板表面上,而其三點熱控制（TPTC）系統確保了最高的可重復性。TPTC技術還允許在處理過程中精確的溫度剖面。MATTSON HELIOS為精確和可重復的溫度控制提供了極大的靈活性。過程控制器配有可編程坡道和浸泡多讀點，簡化了編程，消除了額外硬件的需要。該單元也是自行設計的，用於監測關鍵機器參數如腔室壓力、含氧量、冷卻速率等。這樣可以確保符合關鍵的質量控制標準和關鍵的熱處理參數。此外,HELIOS還設計用於快速安裝和基板加載.其先進的集成能力使基板自動交換成為可能。其獨立的盒式存儲功能使工藝參數可以很容易地被召回，以便將來參考。櫥櫃和抽屜工具的設計有助於組織工作量，並為繁忙的熱處理實驗室提供了一個整齊、有組織的方法。MATTSON HELIOS最多可配置三個站,取決於所使用的基板。它有多種腔室配置，並提供低成本維護。綜上所述，HELIOS是一種尖端的快速熱處理資產，提供精確的熱處理，具有極好的重復性和準確性。適用於中小型生產運行，為用戶提供了輕松編程溫度配置文件和監控關鍵模型參數的能力。其高效的設計和集成能力,允許快速設置和基板加載.