二手 MATTSON HELIOS #9389809 待售

MATTSON HELIOS是一種快速熱處理器（RTP），設計用於最先進的晶圓處理。它提供了非同尋常的生產速度和溫度配置文件。通過最先進的電子設備，可以有效地監測和控制單個晶圓的多個溫度區。HELIOS是市場上最先進的RTP工具，旨在滿足先進設備集成技術的苛刻要求。其主要特點包括：具有高達2000C/minute的快速坡道速率能力；高溫能力可達1050C；超低工作周期；和多個地鐵站,允許在多個晶圓上同時進行過程。MATTSON HELIOS利用先進的診斷和控制系統,確保其運行的過程具有高度的可靠性和可重復性。其電子監控系統確保了過程的精確控制。雙NDIR氣體流動系統提供了最高純度的過程氣體輸送，並有效地將汙染水平降至最低。此外,處理器還利用特殊的高純度陶瓷熱源進行最高質量的退火操作。HELIOS具有堅固的物理結構和堅固的隔熱裝置,以確保高功率密度和最小的熱擴散,這對於精確的熱處理操作至關重要。其精密的過程控制軟件優化了熱循環，以實現高效和全自動的多站過程。MATTSON HELIOS提供卓越的性能，以提高集成電路和MEMS系統的產量。這種處理器廣泛應用於包裝、高級晶圓稀釋、MEMS和光子學制造等廣泛應用。HELIOS是一種功能強大、可靠且經濟高效的設備,非常適合精確熱處理。