二手 MATTSON HELIOS #9390687 待售

MATTSON HELIOS是一種快速熱處理器（RTP），旨在向MEMS設備和其他IC提供快速退火和低溫回流過程。利用快速熱退火（RTA）技術,HELIOS能夠在小型且堅固的封裝中提供最高精度的連續熱控制。它旨在提供溫度高達1200 °C、循環時間短至4秒的熱過程。MATTSON HELIOS提供了非常高水平的過程重復性和準確性，並有可能給出溫度和時間等過程變量在+/-0.5%以內。熱剖面的均勻性也最大化，標準工藝達到+/-2°C的溫度均勻性。這種可重復性和統一性很難與其他RTP實現，使得HELIOS成為許多流程應用的理想工具。MATTSON HELIOS具有集成的計算機控制系統,允許用戶自定義和控制整個熱過程。板載計算機包括易於使用的圖形界面,可快速訪問所有工藝選項,同時提供保護用戶和設備的安全功能。該系統還包括用戶定義的配方、流程監視器和數據收集、示例數據庫以及流程日誌，以支持高級流程控制。HELIOS的魯棒性也提供了即使在最具挑戰性的操作環境中的高可靠性。該系統專為在惡劣環境中運行而設計，並根據MIL-STD-810F進行沖擊和振動測試。真空密封結構還提供了出色的隔熱和機械穩定性，從而使MATTSON HELIOS成為一個值得信賴的用於測量和測試小型設備的工藝解決方案。總體而言,HELIOS為研究和小型生產線提供了可靠可靠的解決方案。熱精度、可重復性和均勻性也使其成為MEM和其他IC應用的理想選擇。MATTSON HELIOS具有高速過程自動化和先進的用戶界面,是許多應用程序的理想快速熱處理器。