二手 MATTSON Millios #293647674 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293647674
優質的: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Millios是一種快速熱處理器，用於半導體晶圓和基板的快速加熱、冷卻和加工。它能夠在0.5毫秒內達到高達1200 °C的溫度,從而能夠在各種材料及其表層上執行溫度循環。它利用了基於MOSFET的加熱系統，該系統可實現快速上升/下降的速度以及精確的溫度控制（± 1°C）。Millios被用於各種應用，如氧化和氮化，氧化模擬，張力和退火，金屬層對準和燒入，以及其他制造工藝。MATTSON Millios的設計采用了多項創新技術,可降低熱偏移和較低的邊緣溫度梯度,並減少感應應力和改進氧化曲線。這些特性有助於改進熱過程，創造出適合現代微電子不同需求的優越材料。該機器配有可控大氣室，為進一步的溫度控制提供安全的大氣環境。該腔室可根據需要加壓/降壓用於真空或惰性氣體大氣浴。此外,該機器還包括先進的冷卻系統,可提供卓越的冷卻功能和最大的冷卻響應時間。Millios提供基於新的、易於使用和可配置的圖形輔助支持的高級集成用戶界面。這有助於操作員快速簡單地設置所需的熱過程,以獲得最佳效果。作為散熱處理器,MATTSON Millios極其可靠,並得到無與倫比的維護和服務網絡的支持。它們配備了完整的備件套件,允許快速、方便地更換,並減少了停機時間。總體而言,Millios是一款先進而創新的快速散熱處理器,其功能旨在為用戶提供卓越的性能,同時提供完全的靈活性和精確度。它旨在通過提供精確、可靠的供暖和制冷功能來提供準確、可重復和產量。這種直接供暖/制冷系統加上其先進的集成用戶界面和全面的維護功能，確保了MATTSON Millios在未來許多年裏將繼續提供可靠和安全的操作。
還沒有評論