二手 MATTSON Millios #9359557 待售

MATTSON Millios是一款快速熱處理器（RTP），專為半導體和LED行業的一系列操作而設計。它利用先進的熱技術提供了更高的工藝精度、可重復性和均勻性。該設備能夠提供多達六個區域的溫度控制，並且可以執行包括擴散、氧化和熱退火在內的一系列操作。該系統配備了氮氣凈化，以幫助減少氧化和預成型過程，如退火和硼植入晶片。它可以容納直徑達300毫米的晶片，並能提供從-50攝氏度到1300攝氏度的溫度。該裝置還包括獨特的柵格臂設計，有助於晶圓的均勻加熱和冷卻。這提供了精確和精確的溫度分析。Millios還配備了實時過程監測機，為晶圓處理提供了進一步的精度和可重復性。此外，它還有一個集成的自動化裝卸模塊，可以簡化裝卸過程，並提供更安全、更快的晶圓傳輸。此外,此工具提供了多種選項來改善總體用戶體驗。這包括配方管理器資產,允許用戶以最小的努力存儲和召回處理配方以及管理不同的配方。它還有一個在線手冊,其中提供了有關設置、操作和排除常見問題的詳細說明。該型號適用於包括LED制造、MEMS等先進半導體應用在內的一系列市場。它通過互鎖設備提供了改進的安全功能,可防止發生錯誤時操作。它還通過在處理過程中顯示實際晶圓位置來增強過程控制。總體而言,MATTSON Millios RTP是一個高度復雜和可靠的晶片處理系統,可提供精確、可重復和均勻的熱處理。它為用戶提供了一系列功能和優勢,尤其是在需要高精度和一致性的過程中。此外，它大大減少了浪費，同時提高了工藝效率，使其成為各種行業的理想選擇。